涿州半导体实验室污水处理设备资讯
发布:2023-08-18 14:27,更新:2024-09-14 11:00
涿州半导体实验室污水处理设备资讯
处理工艺:
二次反应一级凝固十一级沉淀,系统流出离子浓度基本满足L要求。如果增加第一次沉淀,作为第二反应沉淀第一次反应沉淀的第二阶段沉淀反应,系统流出离子浓度可以控制在10毫克。
浓氨不脱吸收工艺-含溴废水的第二阶段沉淀工艺(含溴废水和CMP研磨废水混合处理)-三级酸碱和处理工艺。
直接投入二级反应组、酸碱原液,运行水不稳定,药剂消耗大。
反冲洗过滤器是利用过滤器直接拦截水中杂质,去除水体悬浮物、颗粒物,降低浊度,净化水质,减少系统污垢、菌藻、腐蚀等,净化水质,系统其他设备正常运行的设备。反冲洗过滤器处理的水质不仅达到国家规定的废水排放标准,反冲洗过滤器处理的水源还可以重复使用,可以回收利用,从而节约水资源。
在半导体制造技术中,通过一系列的光刻、刻蚀、沉积、离子注入、研磨、清洗等工艺形成具有各种功能的半导体芯片,然后将所述半导体芯片进行封装和电性测试,并Zui终形成终端产品。
目前,在半导体芯片的制造过程中,会产生大量的工业废水且芯片制造生产工艺复杂,包括硅片清洗、化学气相沉积、刻蚀等工序反复交叉,生产中使用了大量的化学试剂如HF、H2SO4、NH3・H2O等。所以一般芯片制造废水处理系统有含氨废水处理系统+含氟废水处理系统+CMP。
在现有的废水处理过程中,通常单独使用序列间歇式活性污泥法(SBR)或生物接触氧化法或曝气生物滤池(BAF),均只能对废水进行单一的处理,例如为过滤或微生物反应或去除毒性等,由于处理方式过于单一,这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。因此,废水处理仍有改善的空间。
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